「大規模ICの微細化が進むにつれ、素子特性の乱雑な変動、俗にゆらぎと呼ばれる現象が生じるようになりました。かつてなら微細化の進行に伴う製造プロセスの微妙なばらつき、例えば素子形状や不純物分布の揺らぎなどは無視されることがほとんどでした。しかし、これらの乱れが最先端のデバイスに対して素子特性に影響を及ぼす可能性を持つようになり、一大問題となってきています。」
統計的なゆらぎとは
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- IC, 先端デバイス, 微細化技術, 素子特性のばらつき, 製造上の加工ばらつき
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