FOUPとは

ウェハカセットを輸送・収納するためのケース、通称ポッド。これは「局所クリーン化技術」の一部を構成しています。SMIFタイプとは異なり、FOUPタイプのポッドはウェハカセットの取り出しや格納を前後から行います。

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