変形照明技術とは


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光の中心軸を外すように絞りを設定し、露光装置を使ってフォトマスクに対して斜めの光束を投影する照明手法で、これにより解像度や深度の焦点を改良する。この手法は斜入射照明（ObliqueIllumination）とも言われ、通常は光をマスクに対して垂直に入射します。この手法の一部として、輪状に光を浸透させる輪帯照明（AnnularIllumination）や4つの円形の穴から光を浸透させる4極照明などの変形照明アパーチャが存在します。’


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