位相シフトマスクとは

フォトマスクは、光の位相や透過率を調節することにより、画質やフィールドの深さ（DOF：Depth Of Field）を向上させ、転写特性を最適化。これはレーザーの露光波長以下のリソグラフィーに標準的に使用され、”ハーフトーン型”（Attenuated PSM）や”レベンソンマスク”（Alternative PSM）などと呼ばれています。それに対して、光を通す/ブロックするという機能だけを持つ従来のフォトマスク（クロムマスク）は、「バイナリマスク」と称されています。’

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