COPとは


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シリコン結晶に存在する欠陥の一種として、「空孔」が挙げられます。これは、シリコン単結晶の格子点にシリコン原子が存在しない箇所を指し、その「空孔」が集中することで生じる微規模な欠陥を形成します。近年、微細化技術の発展に伴い、さらなる高度な完全結晶の開発が求められている状況です。


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