「UVリソグラフィは、別名をUV露光とも呼ばれています。これは、ICの露光工程で使用され、マスクパターンをウェハーに転写する工程です。なお、この方法では紫外線領域の波長の光源を用いて露光を行います。具体的な装置としては、波長365nmのi線を使ったステッパなどがあります。」
