ICの配置を画策する際に、二つ以上の配線層を上下に組み合わせる配線構造について説明します。この概念は、主にアルミニウム(Al)や銅(Cu)のような金属配線を指します。システムLSIが大々的に拡大し、より集約化される現代において、この多層配線の採用が一般的になっています。’
多層配線とは
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- IC, アルミニウム, システムLSI, メタル配線, 銅
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