「酸化膜換算膜厚」とは具体的に、物理的な膜厚をSiO2（酸化シリコン）の酸化膜厚に置き換えて考えた数値を指します。例を出すと、SiO2より高誘電率の膜（High-k膜）を絶縁膜として含む場合、それによりリーク電流が縮小し、物理的な膜厚を拡大できる一方で、その膜厚をSiO2に換算することで、微細化に対応した薄膜化が達成されたと見なすことができます。
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