「素子の隔離。ICの中で一つの基板上に存在する全ての素子がお互いに干渉し合い、ネガティブな影響を及ぼさないように、互いに電子的な絶縁による分離を行う作業であります。その代表的な例としてLOCOSが挙げられます。」
アイソレーションとは
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- IC, LOCOS, 基板, 干渉, 素子間分離
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