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エピタキシャル成長とは
2024.05.08
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Hatena
「下地となる単結晶基板を基に、その結晶方位や結晶構造、また格子定数に近似した薄膜を積層する技術。」
単結晶基板
,
格子定数
,
結晶方位
,
結晶構造
,
膜堆積
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