微細な加工技術の一部として、写真の基本原理が利用される。写真製版作成のための古い技術が、ここでも活用されている。ICや精密部品の製造にとって欠かせない工程であり、その精度は極めて高くなければならない。具体的には、目的の基板にフォトレジスト(感光性樹脂)を塗り、マスクを使用して露光・現像を行ってフォトレジストパターンを形成する。そして、このパターンを基に基板をエッチング加工する。このマスクがエッチングマスクとなり、これ全体の流れをフォトエッチングと言う。
フォトエッチングとは
Warning: Undefined array key "show_ad1_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 111
Warning: Undefined array key "show_author_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 171
- IC, フォトエッチング, フォトレジスト, 写真製版, 微小加工技術
Warning: Undefined array key "show_author_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 173
Warning: Undefined array key "show_ad2_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 212



