「低温多結晶シリコン」は、ガラス基板などが変形しない比較的低温で生成されるシリコン薄膜を用いてTFT(Thin Film Transistor、薄膜トランジスタ)を形成します。主に、高輝度で小型のアクティブマトリクス駆動方式を採用した透過型LCD(液晶ディスプレイ)に使われています。
LTPSとは
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- TFT, アクティブマトリクス駆動方式, 低温多結晶シリコン, 液晶ディスプレイ, 薄膜トランジスタ
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