高精細化技術。細かなパターンを忠実に再現するフォトリソグラフィの工程では、位相シフトマスク（PSM）や光学近接効果補正（OPC）などの手法が活用されている。一般的に、これらの技術群はRETという頭文字を取って呼ばれることが多い。
