半導体製造装置とは、一般的に半導体集積回路（IC）または単純に「半導体」と呼ばれるものを製造するための装置や機器の総称です。これは、半導体の基礎となる材料の加工過程から組み立てや検査までの一連の工程を行うためのもので、前工程から後工程へと移行する際に使用されるさまざまな種類の装置を含んでいます。
