究極の紫外線。紫色よりも波長が短い光を紫外線と称する。大気が吸収し始める波長200nmから0.2nmの範囲を真空紫外線（VUV）領域、透明な固体結晶が消失する105nm以下の範囲を極端紫外線（EUV）領域と示す。また、0.2〜30nmは軟X線領域とも指称する。EUVリソグラフィは、波長13nmの極端紫外線を活用し、縮小投影露光を施す。’
