“計量的生産管理。生産過程の各検査箇所で収集した膨大なデータをコンピューターで統計的に解析し、生産条件やICの品質改善の動向をモニタリングするシステム。CIMと連携して自動的にデータを収集し、統計解析を行うことで判断し、指示を出すシステムも存在する。”
