エッチングとは

「食刻」とも呼ばれるエッチングは、物体の摩耗を引き起こす化学反応の一つです。これは主にICやプリント配線基板などの精密な作業に活用されます。一般的に、光露光技術であるフォトリソグラフィを用いてレジストパターンをマスクとして作成し、その下にある薄膜をエッチングしてパターンを形成します。利用する手法によって「ウェットエッチング」(薬液を用いる)と「ドライエッチング」(プラズマやイオンを利用する)とに分けられます。

関連記事

  1. 二次切りとは

  2. コンバージョンとは

  3. アクチュアリーとは

  4. Availableとは

  5. ARPポイズニングとは

  6. ドル建て債権とは

  7. ダブルファネルとは

  8. 廃棄とは

  9. IoTとは