MO-CVDとは

有機金属気相成長法、ここでは求める金属を炭化水素基と融合させた(有機金属)を生成し、その気化や運搬をスムーズに進行させます。反応を行うチャンバ内では、プラズマや熱等を用いて反応性ガスを活性化。化学反応を刺激し、微細な膜の成長を次々と助け進行します。

関連記事

  1. シャークリペラントとは

  2. 費用負担部門とは

  3. CyberSpetsnazとは

  4. 鉄鋼とは

  5. アドバイザーとは

  6. 予防原則とは

  7. スタック・カナリアとは

  8. ダークパターンとは

  9. OEICとは