クリーンルームとは


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ICの製造では、非常に純粋な環境が必要とされ、その中で温度や湿度も常に一定に管理・監視されている。この条件を維持するために使用されるのが「クリーンルーム」と呼ばれる特殊な工場や作業場所です。ICにおいては、微粒子（パーティクル）や微量の金属、様々なイオン、有機物などの不純物が混じることで、製品の歩留りや性能、信頼性が大幅に低下します。このため、ICの製造はクリーンルーム内で行われることが一般的です。クリーンルームの清浄度は「クラス」と呼ばれる基準により評価され、この基準は存在するゴミの粒割と個数から判定されます。完全な清潔な環境を実現するために、クリーンルーム内では全体にエアプレッシャーがかけられ、天井のフィルタから床に向かって連続的に空気が供給される（ダウンフロー）。’


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