ポッドと呼ばれるケースは、ウェハカセットの搬送や保管を担っています。このポッド内部にウェハを格納することで、クリーンな状態が維持可能となります。その結果、高度なクリーンルームがなくても、ICの製造工程（前工程）を行うことができます。こうした特性から、「局所クリーン化技術」の一部とも評されています。
ポッドと呼ばれるケースは、ウェハカセットの搬送や保管を担っています。このポッド内部にウェハを格納することで、クリーンな状態が維持可能となります。その結果、高度なクリーンルームがなくても、ICの製造工程（前工程）を行うことができます。こうした特性から、「局所クリーン化技術」の一部とも評されています。
