チャンバとは

密封された反応容器は、物理的または化学的反応を誘発するための装置です。IC製造の過程では、CVD、スパッタリング、エッチングといった装置において使用されています。’

関連記事

  1. サードパーティークッキーとは

  2. サーベンス・オクスリー法とは

  3. 相続時精算課税贈与とは

  4. 台板とは

  5. 認定手続とは

  6. BusinessOneとは

  7. UPXとは

  8. CMMIとは

  9. CIOとは