スクラバとは

ICの生産ラインで、ウェハーを一定の動きで回転させつつ、適度な圧力を加えたブラシが接触。その際、ブラシは純水を供給しながら自身も回転し移動。これにより、ウェハー表面に付着した錆や堆積物を確実に除去する洗浄装置である。’

関連記事

  1. 番線とは

  2. カメラとは

  3. AsyncRATとは

  4. 清算分配金とは

  5. 二酸化シリコンとは

  6. 競争戦略とは

  7. FormBookとは

  8. 財務諸表とは

  9. クーリエとは