熱CVDとは

化学蒸着法(CVD)の一種で、「熱化学的気相成長法」とも呼ばれています。この手法では、200℃から900℃の温度でウェハや膜堆積用材料ガスを加熱し、イオンラジカル等を引き出します。これにより、ウェハとの化学反応を誘発して成膜します。成膜プロセスの圧力は、常圧CVDと減圧CVDの二つに分類されます。’

関連記事

  1. NISTSP800-171とは

  2. 無税償却とは

  3. サステナブルとは

  4. ペイドメディアとは

  5. 帳簿棚卸とは

  6. プロバビリスティックデータとは

  7. マスターファイルテーブルとは

  8. スケールバッグとは

  9. CDSビューとは