ハーフピッチとは

線幅と線間隔の合計の1/2をピッチと呼びます。2005年版の「国際半導体技術ロードマップ」（ITRS）では、ICの技術的な進化段階を示す単位として、このピッチが採用されました。DRAMやMPU/ASICでは、最下層の金属配線のピッチの半分をハーフピッチと言い、NAND型フラッシュメモリでは、セル内の多結晶シリコンのワードラインのハーフピッチを指します。以前は、DRAMのハーフピッチを「技術ノード」として表現していましたが、現在ではその表現は使用されません。’