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RCA洗浄とは

2024.04.23
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IC製造プロセスにおけるシリコンウェハの洗浄法の代表格で、米国RCA社の開発によるもの。’

  • IC製造工程, シリコンウェハ洗浄法, テクノロジー, 米国RCA社, 開発
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