物理的気相成長法とは、具体的にはスパッタリングなどの物理的な手段を取り入れ、材料の物質を積層させるための成膜技術です。対比的に考えられるのが、化学的気相成長法(CVD)という方法です。’
PVDとは
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- スパッタリング, 化学的気相成長法, 成膜法, 材料物質, 物理的気相成長法
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