FOUPとは

ウェハカセットを輸送・収納するためのケース、通称ポッド。これは「局所クリーン化技術」の一部を構成しています。SMIFタイプとは異なり、FOUPタイプのポッドはウェハカセットの取り出しや格納を前後から行います。

関連記事

  1. プログレッシブとは

  2. 引当済在庫とは

  3. キャリーオーバー とは

  4. 敷板とは

  5. モーダルシフトとは

  6. アニュアルレポートとは

  7. 有病率（有病割合）とは

  8. ゲーミフィケーションとは

  9. 国定税率とは