「レティクル」とは、IC製造工程において重要な役割を果たすものであり、ステッパなどを通じてウェハ上にマスクパターンを転写する露光工程で用いられます。それは石英製の板表面にクロム等を用いて一定の回路パターンを形作ったものを指します。
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