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エピタキシャル成長とは

2024.05.08
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「下地となる単結晶基板を基に、その結晶方位や結晶構造、また格子定数に近似した薄膜を積層する技術。」

  • 単結晶基板, 格子定数, 結晶方位, 結晶構造, 膜堆積
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