ナノメーター級の細かな凹凸パターンを鋳型に作り、これを樹脂や他の高分子素材の上に押し付けて形を写し取る微細加工技術の一つが注目を集めています。キーポイントは、この技術を使えば従来の露光装置よりもより安価に、複雑な微細パターンの加工が可能になることです。2種類の転写方法、光硬化と熱硬化が提供されています。この技術は、製造コストを抑えてデバイスを製造できる可能性を秘めており、その可能性に期待が寄せられています。’
ナノインプリントとは
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- ナノテクノロジー, パターニング, 微細加工技術, 装置価格, 高分子材料
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