微細加工のプロセス中、フォトリソグラフィやエッチングの後段で発生するパターンの辺部の凹凸。この現象は、理想的な直線形状のずれや散乱をもたらし、プロセス管理に加えてデバイスの性能にもマイナス影響を及ぼす可能性があります。特に、トランジスタの製造や、ヴィアを含む配線の工程で問題が生じ易いです。’
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微細加工のプロセス中、フォトリソグラフィやエッチングの後段で発生するパターンの辺部の凹凸。この現象は、理想的な直線形状のずれや散乱をもたらし、プロセス管理に加えてデバイスの性能にもマイナス影響を及ぼす可能性があります。特に、トランジスタの製造や、ヴィアを含む配線の工程で問題が生じ易いです。’
