「シリコン単結晶ウェハ等の表面部に存在する結晶の配向性。MOSICの製造過程では、主に（100）面が採用されます。」
面方位とは
- （100）面, MOSIC, シリコン単結晶ウェハ, 結晶方位, 表面部分
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