単結晶基板は、半導体デバイスの製造に不可欠なもので、シリコンウェハなどがこれに該当します。また、フォトマスクや電子回路モジュールの基盤としての用途も併せ持ちます。多くの場合では、基底を意味する「下地シート」の表現として用いられています。’
サブストレートとは
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- シリコンウェハ, フォトマスク, 半導体デバイス, 単結晶基板, 電子回路モジュール
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