スパッタリングとは


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「スパッタ」という言葉は、物理的気相成長法（PVD）の一部で、成膜とエッチングの二つの意味を持つものである。一般的には、真空状態の中にアルゴン等の放電用ガスを導入し、それに電圧を加えることで生成されるグロー放電の現象を指す。その際に、プラズマ中のイオンが陰極のターゲットと衝突を起こし、結果として原子が飛び散る様子が「スパッタ」と呼ばれている。これをうまく応用することにより、気相成長やエッチング作業が可能となる。


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