究極の紫外線。紫色よりも波長が短い光を紫外線と称する。大気が吸収し始める波長200nmから0.2nmの範囲を真空紫外線(VUV)領域、透明な固体結晶が消失する105nm以下の範囲を極端紫外線(EUV)領域と示す。また、0.2〜30nmは軟X線領域とも指称する。EUVリソグラフィは、波長13nmの極端紫外線を活用し、縮小投影露光を施す。’
EUVとは
Warning: Undefined array key "show_ad1_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 111
Warning: Undefined array key "show_author_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 171
- EUVリソグラフィ, 極端紫外線, 真空紫外, 紫外線, 軟X線域
Warning: Undefined array key "show_author_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 173
Warning: Undefined array key "show_ad2_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 212



