真空環境下でスピードアップと集約を遂げた細いライン状のイオン粒子の流れを指す。主にイオンビームエッチングやイオンビームリソグラフィといった技術に応用されている。
イオンビームとは
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- イオンビームエッチング, イオンビームリソグラフィ, イオン粒子, テクノロジー, 真空中
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