光学近接効果補正とは


Warning: Undefined array key "show_ad1_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 111

「ICの製造工程で、加工寸法がより精巧になり、露光波長に近づいた結果、マスクパターンの形状や大きさ、または隣接パターンの影響で、マスクのパターンをウェハー上に完全に写し出せない現象が発生します。これを光学近接効果（OPE：Optical Proximity Effect)と呼びます。そのため、事前にこの変形を予測し、パターン形状に合わせてエッジに段差（ジョグ）を追加したり、別なパターン（ハンマヘッド、アシストバー、セリフなど）を組み入れたり、あるいはパターン幅を調節したりするなどの修正を行います。これをOPC（Optical Proximity Correction）と呼びます。」


Warning: Undefined array key "show_author_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 171

Warning: Undefined array key "show_ad2_introduce" in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php on line 212

関連記事

  1. 吹き返しとは

  2. イノベーション とは

  3. リファラル採用とは

  4. 完全視聴とは

  5. Medigateとは

  6. フォワーダーとは

  7. DCSync攻撃とは

  8. 小池酸素工業とは

  9. ACとは

人気記事

No column posts found for the specified category.

事例記事


Fatal error: Uncaught TypeError: array_filter(): Argument #1 ($array) must be of type array, null given in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/plugins/php-code-widget/execphp.php(27) : eval()'d code:63 Stack trace: #0 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/plugins/php-code-widget/execphp.php(27) : eval()'d code(63): array_filter(NULL, Object(Closure)) #1 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/plugins/php-code-widget/execphp.php(27): eval() #2 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/class-wp-widget.php(394): PHP_Code_Widget->widget(Array, Array) #3 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/widgets.php(845): WP_Widget->display_callback(Array, Array) #4 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/gensen_tcd050/sidebar.php(61): dynamic_sidebar('common_widget') #5 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/template.php(810): require_once('/home/oinsight/...') #6 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/template.php(745): load_template('/home/oinsight/...', true, Array) #7 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/general-template.php(136): locate_template(Array, true, true, Array) #8 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/themes/child_gensen_tcd050/single-introduce.php(355): get_sidebar() #9 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-includes/template-loader.php(113): include('/home/oinsight/...') #10 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-blog-header.php(19): require_once('/home/oinsight/...') #11 /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/index.php(17): require('/home/oinsight/...') #12 {main} thrown in /home/oinsight/by-intersect.jp/public_html/r31.by-intersect.jp/wp-content/plugins/php-code-widget/execphp.php(27) : eval()'d code on line 63