HTPSとは


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高温処理により生み出された多結晶シリコン。これはTFT（薄膜トランジスタ）を構成するシリコン薄膜を、比較的高い温度で多結晶化し、その結果、電子の移動性（モビリティ）を向上させるという特性を持つ。この多結晶シリコンは、プロジェクターで使用されるアクティブマトリクス駆動方式に採用されている透過型LCD（液晶ディスプレイ）に使われている。


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