ポッドと呼ばれるケースは、ウェハカセットの搬送や保管を担っています。このポッド内部にウェハを格納することで、クリーンな状態が維持可能となります。その結果、高度なクリーンルームがなくても、ICの製造工程(前工程)を行うことができます。こうした特性から、「局所クリーン化技術」の一部とも評されています。
SMIFとは
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- IC, ウェハカセット, クリーンルーム, 局所クリーン化技術, 搬送・保管用ケース
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