MO-CVDとは


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有機金属気相成長法、ここでは求める金属を炭化水素基と融合させた（有機金属）を生成し、その気化や運搬をスムーズに進行させます。反応を行うチャンバ内では、プラズマや熱等を用いて反応性ガスを活性化。化学反応を刺激し、微細な膜の成長を次々と助け進行します。


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