「反応性イオンエッチングとは、ドライエッチングの一種です。その特徴は、エッチングの過程で加速イオンの物理的な影響と、エッチング対象物質との化学反応を併用することです。」
RIEとは
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- エッチングメカニズム, ドライエッチング, 化学的作用, 反応性イオンエッチング, 物理的作用
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